Compte-rendu du colloque 2002 :

 

Le 3ème colloque francophone du club SFO/Cmoi s'est déroulé à Saint Aubin de Médoc du 18 au 22 novembre 2002.

Plus de 170 personnes (dont 50 % d’industriels) ont assisté au troisième colloque francophone du club SFO/Cmoi bien organisé par la Société Française d’Optique (SFO) et par EADS France au Domaine de Villepreux à Saint Aubin de Médoc dans le Bordelais du 18 au 22 Novembre 2002.

 

Le succès de ce colloque (65 conférences, 10 affiches, 33 stands) est probablement lié aux thèmes proposés et aux efforts réalisés pour rapprocher chercheurs et industriels, mais également au soutien efficace apporté par divers organismes complémentaires de la SFO :

 

•Agence de Soutien des Technologies de la Recherche Industrielle et du Développement: ASTRID

•Association pour le développement des Scienceset Techniques de l’Environnement: ASTE

•Association Echange et Coordination Recherche-Industrie : ECRIN – Action optoélectronique

•Association Française de Mécanique: AFM

•Club 26 "Rayonnements, Mesures et Vidéo rapidede la Société de l'Électricité, de l'Électroniqueet des Technologies de l'Informationet de la Communication": SEE

•Comité Belge d'Optique: CBO-BCO

•Collège Français de Métrologie: CFM

•Délégation Générale pour l’Armement: DGA

•European Aeronautic Defence and Space Company: EADS France

•Groupement pour l’Avancement des Méthodesd’Analyse des Contraintes: GAMAC

•Groupement Français pour l'Analyse des Contraintes (résiduelles) : GFAC

•Groupement des Industries Françaises de l’Optique: GIFO

•Pôle Régional et International des SciencesMétrologiques: PRISM 3

•Société Française des Mécaniciens: SFM•Société Suisse d'Optique et de Microscopie: SSOMet par diverses revues spécialisées, notamment Contrôles-Essais-Mesures, Essais Industriels, Mécanique et Industries, Mesures, et Photoniques.

 

Le colloque a été divisé en 10 sessions (65 conférences) et des affiches (10) :

• Session 1: Déformations et contraintes. Applications à la mécanique du solide.

Présidée par J.L. ARNAUD (AIRBUS France, Toulouse, France) et J.J. ORTEU (École des Mines d'Albi, France) concernait les mesures de déformations et contraintes appliquées à des domaines industriels les plus variés : analyse vibratoire d'une maquette de dérive d'avion en soufflerie par interférométrie holographique en vraies couleurs et en temps réel; mesure simultanée de deux composantes du déplacement (la composante hors plan et une des composantes planaires) de composants automobiles, par holographie numérique multiplexée incohérente; mesure instantanée de la déformée d'une hélice de ventilation du compartiment moteur d'un véhicule à l'aide de la technique de lumière structurée; mesure du coefficient de dilatation thermique de matériaux composites (éprouvettes dans une enceinte à vide) à l'aide d'une caméra holographique basée sur l'utilisation de cristaux photoréfractifs; suivi de déformées sur des lançeurs du domaine spatial àl'aide de capteurs optiques…; analyse de la continuité du champ de contraintes d'une éprouvette en matériaux composite à architecture 3D en mesurant par photogramétrie numérique 3D les déformations qu'elle subit lors d'un essai de traction; détermination des propriétés mécaniques de matériaux lors d'essais mécaniques par la mesure de champs locaux de déplacements lorsque les déformées sont hétérogènes, à l'aide de la corrélation d'images en lumière blanche; suivi des déformations d'une pièce métallique de forme elliptique soumise à une sollicitations thermique par interférométrie de speckle et corrélation d'images et comparaison avec la simulation numérique dans le but de faire évoluer le dessin de la pièce et de mieux l'intégrer dans un sous-ensemble; utilisation de la micro-photoluminescence comme outil d'imagerie et de mesure des contraintes pour optimiser des procédés de brasure des barrettes laser de puissance à 808 nm.

 

• Session 2: Fibres optiques, capteurs et applications.

Présidée par J.M. CAUSSIGNAC (LCPC, Paris, France) et P. FERDINAND (CEA, Gif-sur-Yvette, France) a traité des mesures sur les fibres optiques et des capteurs à fibres optiques pour des applications variées : mesure en temps réel du diamètre de fibres de renfort en cours de production à l'aide d'un interféromètre Doppler (basé sur les mesures de phases) travaillant en rétrodiffusion et spécialement développé pour l'application envisagée; mesure interférométrique absolue, de grande précision (±15 µm) et à grande vitesse du diamètre de fibres optiques en production et détection de défauts internes, tels les air-lines; suivi par deux capteurs à fibres optiques de la fabrication des matériaux composites par le procédé RFI (Resin Film Infusion) : un capteur à réseau de Bragg est utilisé pour la mesure de l'évolution de la température et l'observation des contraintes internes dans le matériau composite, un autre capteur sert à détecterl'arrivée du front de résine et à mesurer le degré d'avancement de la réticulation; conception d'une canne thermométrique à réseaux de Bragg pour la caractérisation des propriétés thermiques des argiles dans le cadre d'un programme important de l'ANDRA (Agence Nationale pour la gestion des Déchets Radioactifs) et premiers résultats très positifs obtenus sur le terrain; réalisation d'un prototype de capteur à fibre optique pour la détection de fuites d'hydrogène gazeux au niveau des brides d'assemblage des canalisations d'hydrogène liquide sur le banc d'essai du moteur de la fusée ARIANE; présentation des possibilités de l'optique fluide et d'un nouveau générateur permettant de transformer la fonction fondamentale de la fibre optique à diffusion latérale et de passer d'un composant optique de signalisation à un réel appareil d'éclairage dont la maintenance est considérablement réduite.

 

• Session 3: Matériaux pour l'optique et méthodes de caractérisation.

Présidée par P. BENOIT (OPTOPRIM, Vannes, France) et G. BRUN (TSI, Université e Saint-Etienne, France) a été consacrée aux matériaux pour l'optique et aux méthodes de caractérisation : utilisation d'une méthode dite de "résonance des couches minces" pour caractériser (modulation d'indice, homogénéité, épaisseur, coefficient d'absorption,…) avec une bonne précision les couches photomodulées d'une épaisseur située entre 10 et 15 microns déposées sur divers substrats; développement de matériaux sol-gels hybrides photosensibles permettant la création d'éléments optiques réfractifs ou diffractifs, notamment par des procédés auto-développants ne nécessitant aucune étape de développement chimique; utilisation des possibilités de micro- ou nano-structuration de matériaux de photopolymères (photoréticulation sous forme de variation de densité de matière ou d'épaisseur par irradiation sélective) dans le but de réaliser des fonctions optiques activeset passives en optique guidée; exemples d'applications industrielles ["on line" pour le suivi en temps réel de procédés industriels (industries chimiques, polymères semi-conducteurs,…) ou "at line" pour des mesures de routine dans le cadre de procédures de contrôle qualité] de la spectroscopie Raman illustrant ses avantages : analyse rapide et sans contact, éventuellement à distance par fibres optiques, de substances sous forme solide, liquide ou gazeuse (informations sur la composition chimique, la structure moléculaire, les concentrations, les contraintes,…); développement dans une technologie standard CMOS d'un détecteur optique à double jonction enterrée pour l'étude de la fluorescence avec une sensibilité de quelques femto-watts permettant d'atteindre des concentrations inférieures à 10-9 mol/L dans un volume de quelques dizaines de nanolitres (solution utilisant la fluoresceine comme marqueur et excitée par une diode laser bleue à 407 nm).

 

• Session 4: Caractérisation des surfaces.

Présidée par X. COLONNA DE LEGA (ZYGO Corp., Middlefield, USA) et M. SPAJER (Laboratoire d'Optique P.M. Duffieux, Université de Besançon, France) a été consacrée à la caractérisation microscopique de diverses surfaces, dans différentes conditions : utilisation de la microscopie confocale interférométrique en lumière blanche pour l'analyse de l'usure des plaquettes de coupe utilisées en usinage à grande vitesse et optimisation de leur durée de vie (quantification de la profondeur et de la rugosité des cratères microscopiques générés par l'usinage et calcul du volume de matière enlevé); développement d'un profilomètre-vibromètre optique permettant les mesures 3D de topographie (rugosité, dimensions, déformations,…) et de vibrations de surfaces (micro-accéléromètres électrostatiques, par exemple) ou de dispositifs micromécaniques (MEMS) avec une résolution spatiale de 0,5 µm et une résolution verticale sub-nanométrique pour une dynamique verticale de 150 µm; étude et développement d'un outil pour la caractérisation de motifs avancés en micro-électronique (mesure dimensionnelle et profilométrie des motifs dédiés au niveau isolation/grille/métal dans les structures CMOS de 30 à 70 nm en longueur et de 200 nm en hauteur); développement d'un microscope couplant la microscopie optique de champ proche (utilisant une nanosonde métallique diffusante) avec la microscopie à force atomique permettant d'acquérir simultanément une image topographique et une image de fluorescence en champ proche. Les perspectives de cette technique pour l'imagerie à résolution sub-longueur d'onde en biologie sontévoquées; une méthode rapide, sensible et précise utilisant la distribution angulaire de diffusion de la lumière dans une demi-sphère a été développée pour le contrôle des propriétés d'une surface (détection d'une rugosité de surface jusqu'à quelques fractions d'Angström). La méthode permet de distinguer la diffusion due à la rugosité de surface de la diffusion non topographique due à la structure (défauts des cristaux, inclusion d'un autre matériau,…); l'intérêt de l'utilisation de la microscopie optique en champ proche pour la caractérisation non seulement de guides de type ruban, mais également de structures périodiques bidimensionnelles ou "cristaux photoniques planaires" est montré (visualisation de la propagation et des pertes liées). L'étude du confinement lumineux dans des "tapis de billes" (auto-assemblage de micro-billes monodispersées) et l'utilisation d'un fluide électro-rhéologique permet de structurer l'assemblage des billes sous un champ électrique et d'obtenir un milieu optique adaptatif; suivi "in situ" de l'érosion/redéposition de matière des composants face au plasma dans Tore Supra par une méthode d'interférométrie de speckle à deux longueurs d'onde permettant d'obtenir une mesure 3D de l'objet étudié (utilisation d'un laser continu accordable). Les résultats qualitatifs et quantitatifs obtenus sur divers matériaux ont été présentés; enfin une étude est présentée concernant la microscopie optique d'objets microscopiques, tridimensionnels et translucides en éclairage visible incohérent (applications à …). La formation de l'image est modélisée. Une validation est faite sur des micro-billes de verre. Le phénomène de flou est également analysé.

 

• Session 5: Normalisation et certification.

A été présidée par M. HONLET (Honlet Optical Systems, Neu-Ulm, Allemagne) et R. STEHLÉ (Apports et Stratégies, La Garenne, France). Cette session a traité, dans la continuité du colloque 2001 à Trégastel, de la normalisation et de la certification, sujets de moins en moins contournables… Tout d'abord, le vocabulaire et les concepts pour une approche métrologique des méthodes optiques de mesure de champ ont été présentés; puis un exposé sur les normes et les assurances a montré l'importance de l'assurance "qualité" (qualité du management et du produit), del'assurance "probité" (référentiel de terminologie et de contrôle) et de l'assurance "accident" (les règles et la responsabilité du fabricant); ensuite, un exposé a sensibilisé les auditeurs sur la norme et la normalisation, notamment dans le domaine de la mécanique; enfin l'état d'avancement de la certification du personnel amené à faire des contrôles à différents niveaux par interférométrie de speckle a été présenté. Il s'agit d'un travail exemplaire, pas du tout évident, mais strictement indispensable, mené par un groupe d'industriels du Comité Sectoriel Aérospatial de Certification (le COSAC).

 

• Session 6: Contrôle non destructif.

Présidée par J. BOUTEYRE (EADS France, Saint-Médard-en-Jalles, France) et P. JACQUOT (MET-EPFL, Lausanne, Suisse) a traité des contrôles non destructifs par divers procédés dans divers secteurs industriels : utilisation de la shearographie pour la maintenance dans le domaine aéronautique et spatial avec pour objectif l'implantation effective de ce contrôle en milieu industriel en résolvant tous les problèmes rencontrés (délais d'intervention, robustesse des systèmes d'inspection, difficulté de mise en œuvre et d'utilisation, formation des opérateurs,…). Un cas concret de maintenance avec toute la procédure et les résultats obtenus a été présenté; utilisation de la déflectométrie, technique bien adaptée pour le contrôle et la caractérisation des défauts d’aspect auniveau visuel et pour la mesure de la géométrie locale d’une surface dans diverses applications industrielles ,notamment dans l’automobile; évaluation non destructive du vieillissement d'ouvrages (réfrigérants atmosphériques des centrales électro-nucléaires) en étudiant l'onde de Lamb propagée dans la structure pour obtenir une approche du module d'élasticité. Une simulation très complète (incluant les conditions environnementales, la rugosité de l'ouvrage,…) de la détectabilité de l'onde par shearographie est présentée; visualisation des contraintes en temps réel par photoélasticimétrie numérique; utilisation de la TV-holographie pour le contrôle industriel de propulseurs; contrôle non destructif par tomographie X de structures dans le domaine des lanceurs et des véhicules spatiaux.

 

• Session 7: Mesures des distances, déplacements, vitesses, dimensions (3D).

Présidée par P. PICART (ENSIM,Le Mans, France) et Y. SURREL (CNAM et BNM-INM, Paris, France) a eu pour objet les mesures des distances, déplacements, vitesses et dimensions (3D) par des procédés en cours de développement et par des appareils opérationnels pour l'industrie : conception et réalisation d'un dispositif compact et de faible coût de mesure de défilement de produits industriels (premiers résultats obtenus dans les domaines du papier, des textiles techniques et du caoutchouc) par vélocimétrie optique (illumination de l'objet par un motif périodique et analyse du signal reçu); mesure industrielle sans contact de la longueur et de la vitesse de déplacement de matériaux non marqués mais présentant une microstructure (de préférence en taille, forme, couleur et position) à l'aide d'une technique utilisant un réseau à prisme sur lequel est imagé l'objet; mesure très précise de déplacements angulaires d'un objet (torsion d'un barreau soumis à un couple, par exemple) basée sur la modulation de la polarisation due à la torsion de l'objet. La validation de cette nouvelle technique pour des applications industrielles dans l'automobile (nouvelles directions assistées électriques) est en cours; présentation d'un système de mesure de planéité, d'épaisseur et de parallélisme sur pièces industrielles usinées combinant deux profilomètres optiques fonctionnant dans l'infra-rouge à 10 µm avec un interféromètre de mesure de déplacement à deux axes. La répétabilité de la mesure de planéité, de parallélisme et d'épaisseur est respectivement de l'ordre de 0,003 µm, de 0,025 µm et de 0,05 µm. L'épaisseur mesurée maximale est de 100 mm pour un diamètre de pièce maximal de 70 mm; étude d'un capteur angulaire 2D basé sur la triangulation laser sous éclairage structuré et permettant la mesure de l'angle formé par deux directions quelconques dans l'espace, l'une d'elle pouvant être une directionréférentielle. Les premiers résultats expérimentaux sont présentés concernant notamment la détermination de l'angle entre deux faces planes d'un objet. Les motifs sont créés par de multiples plans laser produits par le faisceau d'une diode laser traversant une optique adéquate; étude et développement d'un télémètre optique utilisant le principe de la triangulation dans l'axe, pour remédier aux erreurs données par les systèmes conventionnels et liées à l'albédo de la cible, surtout si celle-ci est réfléchissante. Dans ce nouveau système, l'émission et la réception sont assurées par le même objectif. Les avantages de la triangulation dans l'axe par rapport à la triangulation classique sont donnés et les performances comparées; un système de poursuite de cibles (ou d'objets mobiles de façon générale) complet, basé sur un corrélateur à transformée jointe utilisant un filtre holographique d'extraction de contours et une segmentation optique basée sur les "snakes", a été réalisé et testé avec succès. Il est insensible aux aspects changeants et imprévisible de la cible et/ou du fond de la scène; utilisation de l'interféromètrie de speckle (ESPI ou TV-holographie) pour l'acquisition de la forme 3D d'un objet. Un système industriel a été mis au point sur le principe du déplacement des sources d'illumination par rapport à la caméra de l'interféromètre. Le couplage sur un même système de la mesure de la forme et de la mesure des déplacements permet la cartographie des contraintes et tensions vraies en tout point d'un objet gauche. Des applications effectives en laboratoire et dans l'industrie ont été présentées; étude de l'opportunité de développer un capteur 3D en vision monoculaire passive basé sur l'analyse du flou optique dû à la défocalisation. L'étude théorique est très complète et devrait permettre la réalisation d'un prototype.

 

• Session 8: Thermographie et techniques IR.

Présidée par J.L. BODNAR (LEO, Université de Reims, France) et J.C. KRAPEZ (ONERA, Châtillon, France) a traité, dans la continuation de la session inaugurée l'an dernier lors du colloque de Trégastel, de la thermographie et des techniques IR appliquées à des domaines industriels très variés : caractérisation de revêtements métalliques (destinés à protéger leur substrat d’une usure précoce) par méthode photothermique impulsionnelle en face avant. Les mesures des diffusivités et des effusivités permettent d’estimer l’efficacité de la protection et servent de base pour les calculs thermomécaniques ; mesure de l'épaisseur d'une couche de revêtement de chrome avec une bonne approximation par la méthode de radiométrie photothermique consistant à soumettre l'échantillon à analyser à un flux lumineux dont l'absorption produit une élévation locale de température au voisinage du point d'impact laser, puis à observer les variations d'émittance du matériau à l'aide d'une chaîne de détection optique infra-rouge, le signal photothermique obtenu permettant de caractériser les propriétés thermophysiques du matériau et d'accéder dans certaines conditions à l'épaisseur du matériau de revêtement; contrôle in situ de pièces en matériaux composites [disques de frein en carbone (étude de conformité, détection de défauts,…), protections thermiques de véhicules de rentrée atmosphérique, caractérisation d'isolants (résines, matériaux de sol,…] par imagerie des diffusivités thermiques principales à l'aide de la thermographie flash avec une grille permettant d'accéder soit aux valeurs moyennes des diffusivités hors plan et dans la plan, soit aux profils de ces diffusivités; mesure sans contact et en temps réel de hautes températures de pieces métalliques par analyse bispectrale et trispectrale de l’évolution temporelle de la répartition thermique des pièces qui subissent des variationsspectrales et temporelles, changeantes et inconnues, d’émission et de transmission du rayonnement; analyse d'une scène de soudage à arc par thermographie impulsionnelle permettant de déterminer la cartographie de température et d'émissivité de surface malgré le rayonnement émis par le plasma. Le développement actuel du système permet de séparer sans ambiguïté les différents états du matériau, liquide, solide, phases cristallines; contrôle non destructif de faible coût à l'aide de caméras infrarouges à matrices de détecteurs non refroidis et de traitements en régime transitoire sous labview. Le système développé permet de piloter l'excitation thermique constituée d'une lampe permettant d'irradier par balayage une plaque de dimension 1 m x 1 m x 2 cm. La réponse en température est enregistrée et traitée en quelques secondes par une caméra PalmIR250 et d'un PC muni d'une carte d'acquisition; amélioration du banc d'essai (augmentation notamment de la sensibilité en réduisant le bruit par l'utilisation d'une caméra numérique et par la répétition des essais) de contrôle non destructif d'éléments face au plasma du Tokamak Tore Supra, banc utilisant la thermographie stimulée; analyse des performances parasismiques de structures en béton armé à l'aide de la thermographie infrarouge. Il est montré qu'une sollicitation vibratoire (100 Hz) sur une éprouvette soumise à une compression statique donnée fait apparaître de façon non destructive les concentrations des déformations plastiques irréversibles autour des lacunes, des défauts de fabrication ou des microfissures, générées par des contraintes induites excessives. Grâce au couplage thermomécanique, l'endommagement mécanique du béton se manifeste par sa dissipation intrinsèque aisément détectable, avec fiabilité et précision, par thermographie infrarouge.

 

• Session 9: Applications aux écoulements.

A été présidée par J.M. DESSE (ONERA, Lille, France) et J.P. PRENEL (CREST/CNRS, Belfort, France). Elle concernait les applications de l'optique, au sens large du terme, à l'étude des écoulements : mesure du coefficient de frottement sur la surface de maquettes en soufflerie subsonique (Mach 0,4 et 0,6) à partir de la mesure de l'épaisseur (très faible) d'un film d'huile déposé sur les maquettes. Cette mesure a été réalisée par interférométrie en lumière blanche en identifiant les couleurs en fonction d'une direction donnée. Les zones de transition et les niveaux de contraintes (de quelques pascals à quelques centaines de pascals) ont pu être obtenus avec une précision de quelques pourcents; visualisation 3D et mesure des dimensions de microparticules (gouttes, fibres) présents dans les écoulements par holographie numérique (analyse des figures de diffraction enregistrées par un capteur CCD dans un montage d'holographie dans l'axe ou montage dit de GABOR). Des résultats expérimentaux concernant la mesure de diamètres de fibres dont la position axiale n'est à priori pas connue (volume d'étude de 100 mmde profondeur, diamètres de 20 à 700 µm) ont montré l'intérêt de la technique; l'exposé suivant a fait le point nécessaire et l'analyse critique des évolutions récentes des techniques d'analyse globale des écoulements 3D, notamment des techniques tomographiques utilisables en trajectographie et en vélocimétrie : observation stéréoscopique, éclairage séquentiel, éclairage couleur plan par plan, utilisation de la profondeur de champ de l'objectif de prise de vue,… Le passage de l'analyse tomographique à l'analyse volumique a été également commentée à travers divers exemples; la session s'est terminée par une conférence sur l'étude d'écoulements des matériaux granulaires ensilés à l'aide de la tomographie aux rayons X. L'utilisation de cette technique a permis de mettre en évidence les conditions de formation de voûte dans les grands silos de l'industrie sucrière. Les résultats obtenus ont permis la modélisation de cet effet de voûte et sont transposables à des matériaux granulaires de divers secteurs industriels (agro-alimentaire, pharmaceutique,…).

 

• Session 10: Sciences du vivant. Environnement.

A concerné les sciences du vivant et l'environnement, thèmes qui deviennent récurrents dans notre colloque (d'autres exposés concernant ces thèmes ont été répartis dans d'autres sessions). Présidée par A. KLEITZ (PRISM 3, Saint-Louis, France) et J.L. TRIBILLON (DGA/DSP/SREA, Paris, France), elle a traité de diverses applications concrètes : amélioration de la détection précoce de cancers en exploitant mieux et plus vite des images radiographiques à l'aide de l'optique de Fourier (utilisation d'un processeur optique de van der Lugt avec un simple PC). Il est montré que la miniaturisation du système est possible et qu'il peut répondre aux contraintes d'exploitation; mise au point d'un transducteur optique pour la mesure de toxiques (l'agent polluant comme le tri-butyl étain, classé par la Communauté européenne parmi les 11 substances toxiques à détecter, est présent dans les zones portuaires) par biocapteur bactérien bioluminescent (la bactérie luminescente utilisée produit de la lumière en présence précisément du tri-butyl étain).Une première évaluation du système a été présentée; application des techniques d'analyse multirésolution pour l'extraction des stries de croissance d'un mollusque bivalve (vivant en grande profondeur près de sources hydrothermales) à partir d'une image de profondeur de la coquille obtenue à l'aide d'un scanner 3D. Une périodicité certaine des stries de croissance de l'animal a été observée. La comparaison de divers résultats a permis de tirer quelques conclusions sur l'évolution de cet animal; application de l'holographie temporelle à l'holographie 3D par codage spectral; étude et développement de connecteurs optiques pour des capteurs ou des sondes médicales, en traumatologie crânienne notamment. En fait, il s'agit d'adapter les technologies des fibres optiques éprouvées dans le secteur des télécommunications pour les adapter au secteur médical qui a ses propres contraintes d'environnement et de fiabilité. Des exemples parlants ont été donnés montrant bien l'intérêt de la démarche.

 

• Affiches

présentées pour la première fois au colloque ont traité de plusieurs thèmes des sessions orales : étude d'un système de lecture de mémoires diffractives à base de polypeptide par multiplexage angulaire. Le système, composé de micro-scanners intégrés sur du silicium et d'un déflecteur acousto-optique, atteint d'excellentes performances; présentation d'un procédé de détermination de la répartition d'intensité et de phase dans différents plans de coupe d'un faisceau laser. Cette mesure permet de calculer directement et de façon fiable l'évolution du faisceau dans d'autres plans. L'accord entre les profils d'intensité mesurés et les profils calculés à partir du plan d'origine est dit meilleur que ce que l'on peut obtenir avec un analyseur de type Shack-Hartmann ou Zygo pour un coût nettement moindre; détermination de la topographie de surface d'un dépôt de carbone amorphe (diamond-like carbon) sur un substrat de silicium par rugosimétrie laser 3D. On a fait varier divers paramètres (temps et température de dépôt, notamment) pour voir leur influence sur la rugosité, le comportement mécanique et la morphologie de dépôt; dans le cadre de la détection d'une réaction d'hybridation d'ADN, il a été constaté que cette réaction provoquait l'apparition de contraintes dans le système supportant la pointe AFM d'un microscope à force atomique. Pour bien comprendre les mécanismes mis en jeu, il est envisagé de concevoir un outil d'analyse parallèle pour la biologie, basé sur la lecture optique de la déformation des micro-leviers en matrice. Pour cela, divers procédés ont été mis en œuvre, de l'imagerie interférométrique à intégration de phase à la corrélation d'images numériques, permettant la modélisation des relations entre la réaction d'hybridation et le comportement mécanique des structures; développement d'un système basé sur l'étude de polarisation de la lumière diffusée par un nuage de particules submicroniques éclairé par un laser Argon et permettant la mesure in situ de la taille, de l'indice de réfraction complexe et de la position de ces particules submicroniques en tenant compte de leur non sphéricité (particules de compositionschimiques très variées se trouvant dans l'air ambiant provenant de sources naturelles et des activités humaines); évaluation de la technique de diffraction par un réseau formé par des motifs micro-électroniques pour le contrôle dimensionnel industriel non destructif de précision nanométrique. Les informations obtenues par ellipsométrie et goniométrie spectroscopiques sont comparées à un modèle théorique appliqué à un motif astucieusement paramétré; analyse vibratoire in situ en temps réel d'une onde de compresseur d'un moteur aéronautique civil, avec visualisation des modes propres et identification des fréquences de résonance, à l'aide d'une caméra holographique portative utilisant un cristal photo-réfractif et une caméra CCD pour la mesure interférométrique et une fibre optique pour le travail à grande distance; une nouvelle technique de mesure des vitesses 3D dans les écoulements par holographie numérique a été présentée. Les premiers résultats exposés montrent que la technique proposée permet d'atteindre des résolutions similaires aux différentes techniques développées récemment, tout en permettant de mesurer un champ de vitesse 3D dans un volume sans recherche individuelle des positions des particules ; en combinant un réseau à échelle, un séparateur d’ordres et une caméra CCD, un spectographe multicanal de domaine spectral étendu (200-1100nm) et de haute résolution a été réalisé. Il fonctionne aussi bien en temps intégré qu’en temps résolu et utilise, avec l’environnement Windows, tous les logiciels d’analyse spectrale du commerce ; présentation de la technique de mesure de front d’onde par la méthode de Shack-Hartmann et de son utilisation comme outil performant et convivial de métrologie optique pour les systèmes optiques classiques mais aussi pour l’optique adaptative, ou pour la caractérisation, par exemple, de systèmes optiques convergents de grande ouverture. L’évolution vers les X-UV se dessine pour des applications en microlithographie